透射电子显微镜技术
Transmission Electron Microscope（TEM)
透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope，简称TEM)收集高速电子与物质相互作用所产生的不同信号，通过解析信号来揭示材料的物理、化学性质。
它的工作原理是：
1）电子枪发射出的电子被加速至几千eV，并会聚成平行电子束或细小的电子探针；
2）会聚的电子束与晶体材料相互作用，产生弹性散射、非弹性散射、能量色散X射线谱、二次电子、俄歇电子、背散射电子等信号；
3）收集不同的信号，得到图像或者光谱。
我们的TEM设备空间分辨率达60 pm，可搭载能量色散X射线谱、背散射电子探测器和电子能量损失谱功能，能更全面地表征半导体材料的晶型、缺陷、成分、应力分布等结构参数。
- 用途
- 原子级的空间分辨率；
- 扫描透射电子显微图像STEM Imaging；
- 能量色散X射线光谱仪EDS；
- 电子能量损失谱 STEM-EELS；
- 可以同时识别晶格结构和原子的化学成分。
