高分辨X射线衍射
High Resolution X-ray Diffraction（HR-XRD）
高分辨X射线衍射（High Resolution X-ray Diffraction，简称HR-XRD）是一种利用X光衍射原理无损检测材料晶体结构的技术。这种技术采用一束X光和材料相互作用所生成的衍射图谱来分析材料结构。HR-XRD常见的用途是鉴别晶体结构、晶相、晶体择优取向和其他结构参数的信息（如平均晶粒尺寸、结晶度、应变和晶体缺陷等）也可用于检测非晶体材料的结构特征。
- 用途
- 物相鉴定分析和样品纯度测量；
- 结晶材料与非晶材料的比例及非晶体材料的结构特征分析；
- 晶体材料的表征，确定晶格常数、晶粒尺寸、择优取向；
- 材料的晶格失配、应力、应变分析；
- 位错密度等晶体缺陷和质量分析薄膜的厚度，粗糙度和密度测定多层外延结构中的超晶格测量。
