扫描电子显微镜
Scanning Electron Microscope（SEM)
扫描电镜技术 (Scanning Electron Microscope，简称SEM)通过会聚电子束在样品表面进行栅格化扫描，并同步采集样品发出的二次电子、背散射电子或能量色散X射线信息，得到样品表面的立体形貌、元素分布图像。结合阴极发光技术，SEM可用于分析材料表面的二维元素分布，特别是稀土材料。搭载背散射衍射电子探测器，SEM可以用于研究晶体材料的取向。在半导体领域，运用电压衬度（Voltage Contrast, VC）像技术，SEM可以表征材料的掺杂分布(doping profile)。
- 用途
- 表面形貌分析，纳米级空间分辨率；
- 表面成分分析；
- 晶体取向分析。
