扫描光学显微镜故障定位技术
Scanning Optical Microscope
扫描光学显微镜（Scanning Optical Microscope）故障定位系统是对偏置的芯片进行光子注入，并通过偏置状态下的芯片对注入光子的电响应来确定芯片的故障位置。该技术通过主动注入光子以激发半导体芯片的光电流生成，或者局部加热引起电参数变化，再与标准扫描光学显微图像对比分析，从而对芯片进行故障分析定位。到目前为止，所有基于激光激发的故障分析方法都是选用不同的激光波长，结合标准扫描光学显微镜（SOM）来实现的，被公认为半导体失效分析中相当有用且效率极高的分析工具。
- 用途
- 芯片电路短路检测
- 芯片漏电检测
