原子力显微技术
Atom Force Microscope（AFM）
原子力显微镜(Atom Force Microscope，简称AFM)是一种原子级高分辨率的扫描探针显微镜。其原理是通过检测待测样品表面和一个微型力敏感元件之间的极微弱的原子间相互作用力来研究物质的表面结构及性质。在半导体和材料分析领域，原子力显微镜可用于研究样品表面的形貌特征（如表面缺陷、粗糙度等）和电性特征（如表面阻抗、电势分布、掺杂浓度等）。
- 用途
- 材料表面粗糙度
- 材料表面缺陷分析(如结构缺陷、晶格错位、缺陷密度和传播等)
- 材料表面阻抗、电势分布、介电常数、掺杂浓度等
