纳米划痕：划痕力10 µN - 50 mN，最大划痕深度20 µm，最大划痕长度2.5 mm，最大划痕速度500 µm/s；
测量磨损率和摩擦力：最大磨损力50 mN，最大磨损面积500 mm2；
频率响应特性：操作频率范围0.1 Hz - 1 kHz，最大动态压入位移振幅≥5 µm，动态接触刚度≤1 Å；
硬度和杨氏模量3D Mapping：最快1个压痕点/秒，扫描可测试压痕点数量300×300个压痕点，mapping图像最大范围≥400×400 μm；
硬度和杨氏模量4D video：测试速度5-10 秒/点；
高解析度原位3D SPM成像：X-Y成像范围100×100 μm，定位精度2 nm。
