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傅里叶变换红外光谱 Fourier Transform infrared spectroscopy（FTIR）
傅里叶变换红外光谱（Fourier Transform infrared spectroscopy，简称FTIR）是反映分子结构和物质化学组成的振动光谱技术。化合物分子振动会产生特定红外吸收谱带，从中可以确定分子结构，求出化学键的力常数、键长和键角。利用分子特征吸收谱带的强度可对样品进行定量或半定量分析。
用途
可对液体、半液体、固体（如小颗粒、单根纤维）等材料进行测试；
晶圆超薄膜超薄膜高灵敏度分析。
— 技术特点

  • 200 mm wafer 的反射和透射；

  • 显微FTIR. 空间分辨率≤ 10 μm；

  • 光谱范围：125000--350cm-1(近、中红外)；

  • 波数准精度：0.05cm-1 ~ 0.005cm-1；

  • 可做微区的表面mapping分析，最大mapping面积大于1 cm2 厘米。


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