X射线聚焦束斑直径:7.5 ~ 400 μm连续可调；
扫描分析面积可达:7.5×7.5 ~1400×1400 μm2；
能够检测锂-铀范围内的所有元素,能量扫描范围0-3200 eV；
最佳能量分辨率和灵敏度:半峰宽≤0.45 eV时，峰强度≥200 kcps；
样品尺寸: 50 mm；
可以提供有关元素结合状态的信息，揭示给定元素的XPS光谱的精细结构；
可以获得元素深度剖面图。
