×
首页 > 专业技术 > 先进检测技术 > 材料分析技术 > 晶圆级光致发光显微光谱
晶圆级光致发光显微光谱 Photoluminescence(PL)
光致发光光谱(Photoluminescence, 简称PL)是一种非接触、非破坏性的探索材料电子结构的方法。通过分析半导体的光致发光光谱,可以无损地确定电子带隙、杂质含量、晶体类型、参杂浓度等特性。该技术能识别化合物半导体中极低浓度的杂质,提供了极佳的元素定量分析手段。
用途
表征如金刚石和碳化硅(SiC)晶体的结构、成分及环境原子排列的信息。
可识别材料中杂质元素,及对进行定量测定。
技术特点
  • 激发源:Lasers: 266 nm (50 mW), 325 nm (20 mW), 532 nm (200 mW);

  • 光谱信噪比:>35,000:1;

  • 光谱分辨率:0.2 nm;

  • 光谱范围:300 nm- > 1700 nm;

  • 成像能力:空间分辨率125 μm;成像范围的大小 >200 mm。