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共聚焦显微拉曼/PL光谱 Confocal-mircoscopy Raman/PL spectrum
拉曼光谱是一种分子振动光谱技术,它基于材料分子/声子振动与光子相互作用,产生相应的拉曼散射光子,从而反映材料的化学结构、晶形、结晶度等信息。目前,它已广泛应用于半导体结构和类型的鉴定。
拉曼光谱最大的优势在于,可以获得低波数(800~200 cm﹣¹)或超低波数(< 100 cm﹣¹)区域信息,这是其它振动光谱无法获得的半导体材料的声子振动信息。另外,拉曼光谱技术也没有激发光的局限,理论上任意波长的单色光源均可用作激发源,因此满足复杂测试环境要求。
我们的拉曼光谱设备结合了共聚焦显微光学系统,可对材料进行微米到亚微米空间尺度的性质分析。在此基础上,该系统也耦合了光致发光模块,可以获得相应微区的光致发光光谱信息。
技术特点
  • 激发源:532 nm、325 nm 激光;

  • 光谱功能:可采集拉曼光谱和光致发光光谱 ;

  • 拉曼光谱范围:50 ~ 8000 cm-1;拉曼光谱范围:50 ~ 8000 cm-1

  • 光谱信号灵敏度: 硅三阶峰的信噪比≥20:1,并能观察到四阶峰;

  • 光致发光光谱范围:330 -1700 nm ;

  • 空间分辨率(单点):约0.5 μm (以 532 nm为例);

  • Spectral Mapping空间分辨率:好于 1 μm