企业名称:武汉华工激光工程有限责任公司
产品型号:LUSD3310
验证周期:2023年10月至2024年2月
产品功能:可以实现对整片晶圆的内部改质(隐切),再通过专用裂片机和扩膜机实现对晶圆的切割和晶片的分离
产品型号:LUD3220
验证周期:2023年8月至2024年1月
产品功能:可以实现对整片晶圆的正面或背面进行表面烧蚀切割(全切、 半切、划线、开槽)