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  • 全自动晶圆改质切割设备

    企业名称:武汉华工激光工程有限责任公司

    产品型号:LUSD3310

    验证周期:2023年10月至2024年2月

    产品功能:可以实现对整片晶圆的内部改质(隐切),再通过专用裂片机和扩膜机实现对晶圆的切割和晶片的分离

  • 全自动晶圆激光表切设备

    企业名称:武汉华工激光工程有限责任公司

    产品型号:LUD3220

    验证周期:2023年8月至2024年1月

    产品功能:可以实现对整片晶圆的正面或背面进行表面烧蚀切割(全切、 半切、划线、开槽)

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